S680 直流/射频参数测试系统

S680 直流/射频参数测试系统主要特点及优点:

• 单一平台上的晶圆级直流/射频测试
• 专为最小化测试费用而设计
• 应用广泛
• 基于SECS/GEM的300mm和200mm自动化

S680 直流/射频参数测试系统专为高灵敏度高速测试而设计。测量仪器位于系统机柜内，而前置放大器位于测试头。前置放大器用于在探针后数厘米内放大低电平信号，再将放大了的信号通过电缆传入系统机柜内的测量仪器。这一方法消除了一般电缆和开关矩阵效应带来的速度和灵敏度损失。一个单一类型的SMU具有宽动态量程。外部仪器可以使用八条通用管路直接连接到探针。